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§ 晶圓尺寸：450mm (18吋) § 材質：LAP(ESD) § 容量：25片裝 § 參與SEMI規格制定，為世界第一間合格供應商 § 支援充氣功能 |
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說明 |
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提供450mm晶圓在運輸傳載與儲存時的高效能防護，絕佳氣密性與充氣功能可將FOUP內部維持在低濕度的潔淨環境。低釋氣與低吸濕材質，可以有效降低晶圓受到釋出氣體汙染的風險。所有尺寸皆符合SEMI規範，亦可因應機台參數設定作客製化修改，確保FOUP與機台之相容性。 |
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特色 |
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§ ESD靜電消散與低釋氣材質：避免晶圓受靜電損害與氣體汙染 § 耐磨材質與獨特晶圓支架設計：減少particle生成 § 獨特晶圓定位擋板設計：減少晶圓位移摩擦並確保運輸安全 § 絕佳充氣效能與氣密性 § 即開即關門閂結構：避免門板閉鎖不全 § 無螺絲與金屬配件，容易清洗與維修 § 支援OHT § 支援RFID功能 |
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相關產品 |
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§ 450mm多功能應用載具 § 多功能載具清洗機
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