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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。內部以特殊材質包覆，阻絕電場保護光罩不受靜電損害。 |
§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：PMMA § 支援SMIF標準機械介面 § 適用於ASML曝光機 |
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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。內部以特殊材質包覆，阻絕電場保護光罩不受靜電損害。 |
§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：PMMA § 支援SMIF標準機械介面 § 適用於Nikon曝光機
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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。 |
§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：ABS(ESD)、PC(ESD) § 適用於ASML/Nikon曝光機
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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。 |
§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：ABS、EMI § 適用於ASML曝光機
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