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其他配件

 

光罩夾

光罩夾是專為人工夾取光罩使用,可將人體靜電導地,避免光罩受ESD損害。不同的載具適用不同形式的光罩夾,家登目前為6吋光罩盒、光罩儲存盒、RSP150提供各式光罩夾。此外亦為其他尺寸光罩提供客製化光罩夾。

§  適用光罩尺寸:4, ,5, 6, 7, 9

§  光罩夾型式:水平式、垂直式(

   用於不同之載具)

§  材質:PEEK(ESD),

   UPE(ESD), SUS304ABS(ESD)

Pellicle拆解治具

可使用此治具,簡易快速的將Pellicle將光罩拆解,且不會造成光罩損傷。選配的加熱器可減少殘膠。

§ 適用光罩尺寸:6 x  6 x 0.12 (吋),

                           6 x  6 x 0.25 (吋)

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02-2268-9141

分機1608、1609、3015

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