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光罩清洗機/ 光罩交換機

光罩清洗機

符合OHT介面之load port自動將光罩從載具內取出,不需取下pellicle即可以水洗光罩的玻璃面。經過數次的水刀清洗風刀吹拭,可有效地去除光罩上的particle,且不會刮傷光罩或污染pellicle。機台佔地空間小,且具有效改善光罩潔淨度、產出效率高等優點。

§ 設備尺寸:

   2000(L)*1300(W)*2710(H) mm

§  容量:1 load port

§  適用載具:RSP150/ MRSP/ 客製

    化

 

多功能光罩清洗機

支援多工處理,兩片光罩可於同一時間分別進行光罩清洗、光罩載具交換或光罩目檢的功能。符合OHT介面之load port自動將光罩從載具內取出,不需取下pellicle即可清洗光罩的玻璃面。亦可透過遠端(SECS II) 操作,將Stocker內的光罩載具傳送至光罩交換機進行光罩載具交換與檢測,同時將資料上傳至中央系統。

§設備尺寸: 

 3460(L)*2010(W)*2411(H) mm

§  容量:2 load port (客製化)

§  適用載具:6吋光罩盒/ RSP150/

   客製化

 

光罩交換機

符合OHT介面之load port,全自動ALU可透過遠端(SECS II) 操作,將Stocker內的光罩載具傳送至光罩交換機進行光罩交換與檢測,並可將資料上傳至中央系統。

§  設備尺寸:

    1800(L)*1500(W)*2390(H) mm

§  容量:4 load port (客製化)

§  適用載具:6吋光罩盒/ RSP150/

    客製化

 

客服中心-設備

設備機台業務窗口

03-550-6279

分機105、108

Iris.liu@gdauto.com.tw 

Tommy.Wang@gdauto.com.tw

 
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