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光罩清洗機 (Mask Cleaner)

§  設備尺寸:2000(L)*1300(W)*2710(H) mm

§  容量:1 load port

§  適用載具:RSP150/ MRSP / 客製化

說明

符合OHT介面之load port自動將光罩從載具內取出,不需取下pellicle即可以水洗光罩的玻璃面。經過數次的水刀清洗風刀吹拭,可有效地去除光罩上的particle,且不會刮傷光罩或污染pellicle。機台佔地空間小,且具有效改善光罩潔淨度、產出效率高等優點。

特色

§  光罩玻璃面55um以上的particle去除率至少達95% (IRIS檢測)

§  清洗時間 10~15min (不包含OHT運送)

§  可依據需求設定清洗次數

§  符合OHT介面之load port

§  支援SECSⅡ協定

§  RFID自動讀取功能

相關產品

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§  RSP150

§  MRSP

客服中心-設備

設備機台業務窗口

03-550-6279

分機105、108

Iris.liu@gdauto.com.tw 

Tommy.Wang@gdauto.com.tw

 
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