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光罩交換機 (Mask Exchanger)

§  設備尺寸:1800(L)*1500(W)*2390(H) mm

§  容量:4 load port (客製化)

§  適用載具:6吋光罩盒/ RSP150 / 客製化

說明

符合OHT介面之load port,全自動ALU可透過遠端(SECS II) 操作,將Stocker內的光罩載具傳送至光罩交換機進行光罩交換與檢測,同時將資料上傳至中央系統。

特色

§  符合OHT介面之load port

§  支援SECSⅡ協定

§  Barcode/ RFID自動讀寫功能

§  光罩轉向功能

可選擇項目

§  條碼列印功能

§  CCD 照相功能

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03-550-6279

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