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多功能光罩清洗機 (Multi-function Mask Cleaner)

§  設備尺寸:3460(L)*2010(W)*2411(H) mm

§  容量:2 load port (客製化)

§  適用載具:6吋光罩盒/ RSP150 / 客製化

說明

支援多工處理,可於同一時間分別進行光罩清洗、光罩載具交換或光罩目檢的功能。符合OHT介面之load port自動將光罩從載具內取出,不需取下pellicle即可清洗光罩的玻璃面。亦可透過遠端(SECS II) 操作,將Stocker內的光罩載具傳送至光罩交換機進行光罩載具交換與檢測,同時將資料上傳至中央系統。

特色

§  支援多工進行光罩清洗與載具交換的功能

§  光罩玻璃面55um以上的particle去除率至少達95% (IRIS檢測)

§  可依據需求設定清洗次數

§  符合OHT介面之load port

§  支援SECSⅡ協定

§  Barcode/ RFID自動讀寫功能

§  光罩轉向功能

§  強光燈目檢

可選擇項目

§  CCD 照相功能

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客服中心-設備

設備機台業務窗口

03-550-6279

分機105、108

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Tommy.Wang@gdauto.com.tw

 
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