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充氣儲存櫃/ 電子貨架

RSP150連續充氣櫃

提供RSP150超潔淨氣體(XCDA)連續充氣,人工將RSP150放置於充氣盤面上則會開始自動充氣,並將RSP150的位置、光罩資訊、充氣資訊回傳至MES系統,當RSP150被取走時,充氣櫃則會停止充氣。RSP150目前有4080不同櫃位選項。

§設備尺寸:

  2780(L)*650(W)*2485(H) mm

§  容量:80個充氣盤面

§  適用載具:RSP150/ MRSP/  客製

   化(載具需支援充氣功能)

§  充氣氣體:超潔淨氣體(XCDA)

 

RSP150連續充氣儲存櫃

 

提供RSP150等載具之儲存空間與自動化存取,並支援XCDA或氮氣連續充氣功能。能將RSP150的位置、光罩資訊、充氣資訊回傳至中央管理系統。可客製化設計,滿足不同儲存數目之需求。

§  尺寸與容量:客製化設計

§  適用載具:RSP150/ 客製化(載具

   需支援充氣功能)

電子貨架

提供RSP150放置的工作平台,並透過RFID讀取載具資訊並回傳至中央系統。顯示螢幕可以同時管理16櫃位上的載具狀態與RFID資訊。目前有1216不同櫃位選項。

§ 設備尺寸:

  1120(L)*365(W)*1135(H) mm

§  容量:16櫃位 (客製化)

§  適用載具:RSP150/ 客製化

 

 

客服中心-設備

設備機台業務窗口

03-550-6279

分機105、108

Iris.liu@gdauto.com.tw 

Tommy.Wang@gdauto.com.tw

 
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