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連續充氣儲存櫃 (Continuous Purge Stocker)

§  尺寸與容量:客製化設計

§  適用載具: RSP150/  客製化(載具需支援充氣功能)

說明

提供RSP150等載具之儲存空間與自動化存取,並支援XCDA或氮氣連續充氣功能。能將RSP150的位置、光罩資訊、充氣資訊回傳至中央管理系統。可客製化設計,滿足不同儲存數目之需求。

特色

§  可支援所有充氣盤面同時充氣

§  Pod放置偏移自動矯正設計

§  客製化充氣流量設定服務

§  支援OHT

§  支援PGV

可選擇項目

§  客製化儲位數量

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