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您目前位置:產品範疇機台設備充氣儲存櫃/ 電子貨架RSP150連續充氣櫃

RSP150連續充氣櫃 (Continuous Purge Cabinet)

§  設備尺寸:2780(L)*650(W)*2485(H) mm

§  容量:80個充氣盤面(客製化)

§  適用載具: RSP150/ MRSP/  客製化(載具需支援充氣功能)

§  充氣氣體:超潔淨氣體(XCDA)

說明

提供RSP150超潔淨氣體(XCDA)連續充氣,人工將RSP150放置於充氣盤面上則會開始自動充氣,並將RSP150的位置、光罩資訊、充氣資訊回傳至MES系統,當RSP150被取走時,充氣櫃則會停止充氣。RSP150目前有4080不同櫃位選項。

特色

§  內建螢幕即時顯示充氣盤面上載具資訊與充氣狀況

§  支援SECSⅡ協定:將載具充氣資訊回傳至MES

§  支援RFID寫入功能,並提供錯誤提醒與回報機制

§  客製化充氣流量設定服務

§  可支援80個充氣盤面同時充氣

§  自動溫度調節功能:避免櫃體溫度過高

可選擇項目

§  RSP150-80儲位尺寸:2780(L)*650(W)*2485(H)

§  RSP150-40儲位尺寸:1450(L)*650(W)*2275(H)

§  MRSP-50儲位尺寸:2780(L)*650(W)*2485(H)

§  MRSP-25儲位尺寸:1450(L)*650(W)*2275(H)

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