EUV POD
以子母盒雙層設計,提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,內層EIP可於真空環境下操作。支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
§ 光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 (吋)
§ 材質:PEEK(ESD)、金屬
§ 適用於EUV製程(通過ASML認證)
§ 支援充氣功能
業務窗口
02-2268-9141
分機1608、1609
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