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EUV POD

§  光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 ()

§  材質:PEEK(ESD)、金屬

§  適用於EUV製程(通過ASML認證)

§  支援充氣功能

說明

以子母盒雙層設計,提供6EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,內層EIP可於真空環境下操作。支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。

規格

§  符合SEMI規範

§  支援OHT功能

§  支援RFID功能

特色

§  母盒雙層EOP(外層)EIP(內層)

§  EOP使用靜電消散與低釋氣材質

§  EIP可支援在真空環境下操作

§  與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成

§  絕佳氣密性

可選擇項目

§  EIP形式:無薄膜光罩版本/有薄膜光罩版本

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