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RSP150 (把手 & 金屬夾板)

光罩傳送盒(把手&金屬夾板)- ASML曝光機

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。

§  光罩尺寸:6 x  6 x 0.25 ()

§  材質:PMMA

§  支援SMIF標準機械介面

§  適用於ASML曝光機

光罩傳送盒(把手&金屬夾板)- Nikon曝光機

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。

§  光罩尺寸:6 x  6 x 0.25 ()

§  材質:PMMA

§  支援SMIF標準機械介面

§  適用於Nikon曝光機

 

光罩傳送盒(把手&金屬夾板)

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。

§  光罩尺寸:6 x  6 x 0.25 ()

§  材質:ABS(ESD)PC(ESD)

§  適用於ASML/Nikon曝光機

 

 

 

光罩傳送盒(把手)

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。

§  光罩尺寸:6 x  6 x 0.25 ()

§  材質:ABSEMI

§  適用於ASML曝光機

 

 

 

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02-2268-9141

分機1608、1609、3015

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