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RSP150 (把手 & 金屬夾板)- ASML曝光機

§  光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 ()

§  材質:PMMA

§  支援SMIF標準機械介面

§  適用於ASML曝光機

說明

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。

規格

§  支援RFID功能

特色

§  內部以特殊材質包覆光罩:有效阻絕電場

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