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§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：ABS(ESD)、PC(ESD) § 適用於ASML/Nikon曝光機 |
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說明 |
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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。 |
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規格 |
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§ 與SEMI規格相容 |
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特色 |
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§ ESD靜電消散材質：避免光罩受靜電損害 |
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相關產品 |
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§ 6吋光罩盒 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機 § 多功能光罩清洗機 § 多功能載具清洗機 § 光罩交換機
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