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RSP150 (把手 & 金屬夾板)

§  光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 ()

§  材質:ABS(ESD)PC(ESD)

§  適用於ASML/Nikon曝光機

說明

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。

規格

§  SEMI規格相容

特色

§  ESD靜電消散材質:避免光罩受靜電損害

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