|
|
§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：ABS(ESD)、PC(ESD) § 適用於ASML/Nikon曝光機 |
|
說明 |
|
|
提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。 |
|
|
規格 |
|
|
§ 與SEMI規格相容 |
|
|
特色 |
|
|
§ ESD靜電消散材質：避免光罩受靜電損害 |
|
|
相關產品 |
|
|
§ 6吋光罩盒 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機 § 多功能光罩清洗機 § 多功能載具清洗機 § 光罩交換機
|
|
|
|
§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：ABS(ESD)、PC(ESD) § 適用於ASML/Nikon曝光機 |
|
說明 |
|
|
提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。 |
|
|
規格 |
|
|
§ 與SEMI規格相容 |
|
|
特色 |
|
|
§ ESD靜電消散材質：避免光罩受靜電損害 |
|
|
相關產品 |
|
|
§ 6吋光罩盒 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機 § 多功能光罩清洗機 § 多功能載具清洗機 § 光罩交換機
|
|