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RSP150 (把手 & 兩側夾板)

光罩傳送盒(兩側夾板)

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。

§  光罩尺寸:6 x  6 x 0.25 ()

§  材質:PEEK(ESD)

§  支援SMIF標準機械介面

§  適用於ASML曝光機

§  支援充氣功能

 

光罩傳送盒(把手&兩側夾板)- PEEK材質

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。

§  光罩尺寸:6 x  6 x 0.25 ()

§  材質:PEEK(ESD)

§  支援SMIF標準機械介面

§  適用於ASML曝光機

§  支援充氣功能

 

光罩傳送盒(把手&兩側夾板)- FRP材質

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。外殼使用高效能材料,能有效降低Haze汙染風險。

§  光罩尺寸:6 x  6 x 0.25 ()

§  材質:FRP(ESD)

§  支援SMIF標準機械介面

§  適用於ASML曝光機

 

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