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RSP150 (兩側夾板)

§  光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 ()

§  材質:PEEK(ESD)

§  支援SMIF標準機械介面

§  適用於ASML曝光機

§  支援充氣功能

說明

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。內部以特殊材質包覆,阻絕電場保護光罩不受靜電損害。

規格

§  尺寸符合SEMI規範

§  支援RFID功能

特色

§  ESD靜電消散材質:避免光罩受靜電損害

§  外殼採低釋氣、低吸濕材質:降低Haze汙染風險

§  與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成

§  內部以特殊材質包覆光罩:有效阻絕電場

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分機1608、1609、3015

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