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§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：PEEK(ESD) § 支援SMIF標準機械介面 § 適用於ASML曝光機 § 支援充氣功能 |
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說明 |
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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。內部以特殊材質包覆，阻絕電場保護光罩不受靜電損害。 |
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規格 |
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§ 尺寸符合SEMI規範 § 支援RFID功能 |
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特色 |
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§ ESD靜電消散材質：避免光罩受靜電損害 § 外殼採低釋氣、低吸濕材質：降低Haze汙染風險 § 與光罩接觸點皆為耐磨材質：有效減少Particle生成 § 內部以特殊材質包覆光罩：有效阻絕電場 |
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相關產品 |
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§ 6吋光罩盒 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機 § 多功能光罩清洗機 § 多功能載具清洗機 § 光罩交換機
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