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您目前位置:產品範疇光罩傳載解決方案RSP150六層光罩傳送盒 (MRSP)

六層光罩傳送盒 (MRSP)

六層光罩傳送盒(MRSP)

提供至多六片6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,並具備充氣功能可將光罩傳送盒內部維持在乾燥潔淨的微環境。

§  光罩尺寸:6 x  6 x 0.25 ()

§  材質:PCPEEK

§  六片光罩傳送及高效能儲存

§  支援SMIF標準機械介面

 

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分機1608、1609、3015

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