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六層光罩傳送盒(MRSP)

提供至多六片6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，並具備充氣功能可將光罩傳送盒內部維持在乾燥潔淨的微環境。

§  光罩尺寸：6 x  6 x 0.25 (吋)

§  材質：PC、PEEK

§  六片光罩傳送及高效能儲存

§  支援SMIF標準機械介面