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六層光罩傳送盒 (MRSP)

§  光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 ()

§  材質:PCPEEK

§  六片光罩傳送及高效能儲存

§  支援SMIF標準機械介面

說明

提供至多六片6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。

規格

§  支援RFID功能,可拆卸RFID座:方便讀取光罩資訊

特色

§  低釋氣材質並支援充氣功能:減少Haze汙染

§  絕佳氣密性

§  與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成

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業務窗口

02-2268-9141

分機1608、1609、3015

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