光罩傳送盒(OHT&兩側夾板)
提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護,支援OHT自動化傳載,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
§ 光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 (吋)
§ 材質:ABS(ESD)、PC(ESD)
§ 支援SMIF標準機械介面
§ 適用於ASML/Nikon/Canon
曝光機
§ 支援充氣功能
業務窗口
02-2268-9141
分機1608、1609
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