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RSP150 (OHT & 兩側夾板)

 

光罩傳送盒(OHT&兩側夾板)

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護,支援OHT自動化傳載,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。

§  光罩尺寸:6 x  6 x 0.25 ()

§  材質:ABS(ESD)PC(ESD)

§  支援SMIF標準機械介面

§  適用於ASML/Nikon/Canon

    曝光機

§  支援充氣功能

 

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02-2268-9141

分機1608、1609、3015

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