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光罩傳送盒(OHT&兩側夾板)

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護，支援OHT自動化傳載，並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。

§  光罩尺寸：6 x  6 x 0.25 (吋)

§  材質：ABS(ESD)、PC(ESD)

§  支援SMIF標準機械介面

§  適用於ASML/Nikon/Canon

    曝光機

§  支援充氣功能