|
|
||
 |
提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護，支援OHT自動化傳載，並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。 |
§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：ABS(ESD)、PC(ESD) § 支援SMIF標準機械介面 § 適用於ASML/Nikon/Canon 曝光機 § 支援充氣功能
|
家登精密工業股份有限公司 - Partner with H.E.A.R.T., Grow with P.A.S.S.I.ON.
|
|
||
|
提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護，支援OHT自動化傳載，並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。 |
§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：ABS(ESD)、PC(ESD) § 支援SMIF標準機械介面 § 適用於ASML/Nikon/Canon 曝光機 § 支援充氣功能
|