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§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質：ABS(ESD)、PC(ESD) § 支援SMIF標準機械介面 § 適用於ASML/Nikon/Canon曝光機 § 支援充氣功能 |
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說明 |
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提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護，支援OHT自動化傳載，並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。 |
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規格 |
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§ 尺寸符合SEMI規範 § 支援OHT功能 § 支援RFID功能 |
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特色 |
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§ ESD靜電消散材質：避免光罩受靜電損害 § 與光罩接觸點皆為耐磨材質：有效減少Particle生成 |
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相關產品 |
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§ 6吋光罩盒 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機 § 多功能光罩清洗機 § 多功能載具清洗機 § 光罩交換機
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