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Canon光罩盒

§  光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 ()

§  材質: ABS(ESD)

§  適用於Canon曝光機

說明

適用於Canon曝光機之6吋光罩載具,外盒採用低釋氣材質,支點採用耐磨、靜電消散且低釋氣材質,減少光罩與支點摩擦產生particle、靜電損害與受Haze汙染的風險降至最低。

特色

§  ESD靜電消散材質:避免光罩受靜電損害

§  與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成

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