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§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質： ABS(ESD) § 用途：單片光罩運輸及儲存 |
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說明 |
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使用靜電消散材質，避免光罩受到靜電損害；特殊防震支點設計能緩衝光罩在運輸時因震動產生的particle，提供6吋光罩在運輸與儲存時的安全防護。 |
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特色 |
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§ ESD靜電消散材質：避免光罩受靜電損害 § 特殊防震支點設計：有效防止Particle生成 § 可堆疊之外觀設計 |
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相關產品 |
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§ RSP150 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機 § 多功能光罩清洗機 § 多功能載具清洗機 § 光罩交換機
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