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§ 光罩尺寸：6 x 6 x 0.25 (吋) § 材質： EMI(ESD) § 用途：單片光罩運輸及儲存 |
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說明 |
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使用低釋氣材質，降低光罩受到Haze汙染的風險；EMI特性之材料具備比靜電消散材質更接近導體的特性，能有效阻絕電場並避免靜電損害，提供6吋光罩在運輸與儲存時的高效安全防護。 |
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特色 |
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§ 低釋氣材質：減少光罩受Haze汙染風險 § EMI材質：有效阻絕電場，避免光罩受靜電損害 § 可堆疊之外觀設計 |
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相關產品 |
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§ RSP150 § RSP200 § MRSP § 光罩夾 § 光罩清洗機 § 多功能光罩清洗機 § 多功能載具清洗機 § 光罩交換機
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