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RSP200

§  光罩尺寸:6 x 6 x 0.25 ()

§  材質:PEEK(ESD)

§  支援200mmSMIF標準機械介面

說明

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。體式上蓋設計易於清洗,並採用耐磨高潔淨材質減少Particle生成的風險。大面積透明視窗易於檢視內部光罩資訊。

規格

§  支援RFID功能

特色

§  低釋氣材質並支援充氣功能:減少Haze汙染

§  ESD靜電消散材質:避免光罩受靜電損害

§  低釋氣材質:降低Haze汙染風險

§  與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成

§  色透明視窗:可有效阻絕紫外光

§  特殊底板開關機構:避免開鎖不完全導致光罩摔落

§  絕佳氣密性

§  支援充氣功能,採用易更換式Filter設計

可選擇項目

§  RFID數目:1/2(雙邊各一個)

§  上蓋T扣數量:無/2/4

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客服中心

業務窗口

02-2268-9141

分機1608、1609、3015

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