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200mm 晶舟(Wafer Cassette)

200mm 晶舟

25片裝的8吋晶圓載具,適用於製程站間傳送,與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台設定作客製化修改,確保晶舟與機台之相容性。

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:PBT(ESD)/  LAP(ESD)/ 客製化

§  容量:25片裝

§  所有尺寸皆符合SEMI規範

§  可依客製化需求調整晶圓間距

 

200mm 晶舟-耐高溫

25片裝的8吋晶圓載具,適用於製程站間傳送,與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台設定作客製化修改,確保晶舟與機台之相容性。材質具有低釋氣、耐磨與耐高溫的特性,可有效改善製程良率與效率。

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:PEEK

§  容量:25片裝

§  所有尺寸皆符合SEMI規範

§  可依客製化需求調整晶圓間距

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業務窗口

02-2268-9141

分機1608、1609、3015

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