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25片裝的8吋晶圓載具,適用於製程站間傳送,與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台設定作客製化修改,確保晶舟與機台之相容性。 |
§ 晶圓尺寸:200mm (8吋) § 材質:PBT(ESD)/ LAP(ESD)/ 客製化 § 容量:25片裝 § 所有尺寸皆符合SEMI規範 § 可依客製化需求調整晶圓間距
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25片裝的8吋晶圓載具,適用於製程站間傳送,與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台設定作客製化修改,確保晶舟與機台之相容性。材質具有低釋氣、耐磨與耐高溫的特性,可有效改善製程良率與效率。 |
§ 晶圓尺寸:200mm (8吋) § 材質:PEEK § 容量:25片裝 § 所有尺寸皆符合SEMI規範 § 可依客製化需求調整晶圓間距
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