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25片裝的8吋晶圓載具，適用於製程站間傳送，與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。所有尺寸皆符合SEMI規範，亦可因應機台設定作客製化修改，確保晶舟與機台之相容性。 |
§ 晶圓尺寸：200mm (8吋) § 材質：PBT(ESD)/ LAP(ESD)/ 客製化 § 容量：25片裝 § 所有尺寸皆符合SEMI規範 § 可依客製化需求調整晶圓間距
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25片裝的8吋晶圓載具，適用於製程站間傳送，與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。所有尺寸皆符合SEMI規範，亦可因應機台設定作客製化修改，確保晶舟與機台之相容性。材質具有低釋氣、耐磨與耐高溫的特性，可有效改善製程良率與效率。 |
§ 晶圓尺寸：200mm (8吋) § 材質：PEEK § 容量：25片裝 § 所有尺寸皆符合SEMI規範 § 可依客製化需求調整晶圓間距
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