200mm 晶舟

200mm 晶舟(Wafer Cassette)

	§ 晶圓尺寸：200mm (8吋) § 材質：PBT(ESD)/ LAP(ESD)/ 客製化 § 容量：25片裝 § 所有尺寸皆符合SEMI規範 § 可依客製化需求調整晶圓間距
說明
25片裝的8吋晶圓載具，適用於製程站間傳送，與晶舟盒搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。所有尺寸皆符合SEMI規範，亦可因應機台設定作客製化修改，確保晶舟與機台之相容性。
規格
§ 尺寸符合SEMI規範 § 支援H bar機台介面
特色
§ ESD靜電消散材質：避免晶圓受靜電損害 § 直立定位設計：避免裝載錯誤 § 對疊孔位設計：易於交換晶圓
可選擇項目
§ 材質：耐酸鹼材質/可於真空環境操作之材質 § 外觀(把手、機械夾取與定位點等) § 可支援RFID功能 § 雷射雕刻：客製化設計
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