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200mm 晶舟盒(Wafer Cassette Box)

200mm 晶舟盒

與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。低釋氣材質的外殼,降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險,高強度的外殼亦提供提供晶圓傳載的完美保護。

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:PC(ESD)

§  可將紙張/ Run Card置於上蓋乘載

 

 

200mm 晶舟盒-低吸濕材質

與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。低吸濕且低釋氣材質的外殼,有效降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險,高強度的外殼亦提供提供晶圓傳載的完美保護。

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:LAP(ESD)

§  可將紙本工單置於上蓋乘載座

 

 

 

200mm 晶舟盒-全透明上蓋

與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。操作員容易透過全透明上蓋視窗辨識內部晶舟資訊,低釋氣材質的外殼可以降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險。

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:PCLAP(ESD)

§  可將紙本工單置於上蓋乘載座

 

 

 

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