|
||
與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。低釋氣材質的外殼,降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險,高強度的外殼亦提供提供晶圓傳載的完美保護。 |
§ 晶圓尺寸:200mm (8吋) § 材質:PC(ESD) § 可將紙張/ Run Card置於上蓋乘載座
|
|
||
![]() |
與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。低吸濕且低釋氣材質的外殼,有效降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險,高強度的外殼亦提供提供晶圓傳載的完美保護。 |
§ 晶圓尺寸:200mm (8吋) § 材質:LAP(ESD) § 可將紙本工單置於上蓋乘載座
|
|
||
![]() |
與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。操作員容易透過全透明上蓋視窗辨識內部晶舟資訊,低釋氣材質的外殼可以降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險。 |
§ 晶圓尺寸:200mm (8吋) § 材質:PC、LAP(ESD) § 可將紙本工單置於上蓋乘載座
|