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與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。低釋氣材質的外殼，降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險，高強度的外殼亦提供提供晶圓傳載的完美保護。 |
§ 晶圓尺寸：200mm (8吋) § 材質：PC(ESD) § 可將紙張/ Run Card置於上蓋乘載座
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與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。低吸濕且低釋氣材質的外殼，有效降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險，高強度的外殼亦提供提供晶圓傳載的完美保護。 |
§ 晶圓尺寸：200mm (8吋) § 材質：LAP(ESD) § 可將紙本工單置於上蓋乘載座
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與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。操作員容易透過全透明上蓋視窗辨識內部晶舟資訊，低釋氣材質的外殼可以降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險。 |
§ 晶圓尺寸：200mm (8吋) § 材質：PC、LAP(ESD) § 可將紙本工單置於上蓋乘載座
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