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200mm晶舟盒(Wafer Cassette Box) - 全透明上蓋

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:PCLAP(ESD)

§  可將紙本工單置於上蓋乘載座

說明

與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。操作員容易透過全透明上蓋視窗辨識內部晶舟資訊,低釋氣材質的外殼可以降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險。

特色

§  與晶舟接觸點為耐磨材質:減少particle生成

§  低釋氣材質:降低釋出氣體汙染晶圓風險

§  特殊定位設計:減少晶舟位移摩擦產生Particle

§  全透明上蓋:操作員容易辨識內部晶舟之條碼

可選擇項目

§  雷射雕刻:客製化設計

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