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§ 晶圓尺寸：200mm (8吋) § 材質：LAP(ESD) § 可將紙本工單置於上蓋乘載座 |
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說明 |
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與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。低吸濕且低釋氣材質的外殼，有效降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險，高強度的外殼亦提供提供晶圓傳載的完美保護。 |
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特色 |
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§ 靜電消散材質：避免晶圓受靜電損害 § 與晶舟接觸點為耐磨材質：減少particle生成 § 低釋氣材質：降低釋出氣體汙染晶圓風險 § 高強度材質與結構設計：提升碰撞保護能力 § 特殊定位設計：減少晶舟位移摩擦產生particle § 透明視窗：操作員可辨識內部晶舟之條碼資訊 § 上蓋上方可放置Run card或紙本工單 |
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可選擇項目 |
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§ 雷射雕刻：客製化設計 § Run card乘載座：客製化設計 |
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相關產品 |
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§ 200mm晶舟 § 200mm晶圓運輸盒 § 200mm晶圓傳送盒 § 多功能載具清洗機
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