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200mm晶舟盒(Wafer Cassette Box) - 低吸濕材質

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:LAP(ESD)

§  可將紙本工單置於上蓋乘載座

說明

與對應型號的晶舟搭配可儲存晶圓片並確保運輸安全。內部特殊定位結構可有效減少晶舟位移摩擦之particle生成。低吸濕且低釋氣材質的外殼,有效降低內部晶圓受釋出氣體汙染之風險,高強度的外殼亦提供提供晶圓傳載的完美保護。

特色

§  靜電消散材質:避免晶圓受靜電損害

§  與晶舟接觸點為耐磨材質:減少particle生成

§  低釋氣材質:降低釋出氣體汙染晶圓風險

§  高強度材質與結構設計:提升碰撞保護能力

§  特殊定位設計:減少晶舟位移摩擦產生particle

§  透明視窗:操作員可辨識內部晶舟之條碼資訊

§  上蓋上方可放置Run card紙本工單

可選擇項目

§  雷射雕刻:客製化設計

§  Run card乘載座:客製化設計

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