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200mm 晶圓傳送盒(Wafer POD)

200mm 晶圓傳送盒

與晶舟(cassette)搭配可提供晶圓片在製程站間傳送與儲存的完美防護。所有尺寸皆符合SEMI規範,適用於200mm自動化機械存取介面。晶圓鎖定擋板為一體成形耐磨材質,可固定晶圓片以減少晶圓旋轉位移而生成particle。即開即關門閂結構設計,避免下蓋閉鎖不完全而導致內部晶舟掉落之風險。

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:PCPMMA(ESD)

§  適用於200mm自動化機械存取介        

 

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