200mm 晶圓傳送盒
與晶舟(cassette)搭配可提供晶圓片在製程站間傳送與儲存的完美防護。所有尺寸皆符合SEMI規範,適用於200mm自動化機械存取介面。晶圓鎖定擋板為一體成形耐磨材質,可固定晶圓片以減少晶圓旋轉位移而生成particle。即開即關門閂結構設計,避免下蓋閉鎖不完全而導致內部晶舟掉落之風險。
§ 晶圓尺寸:200mm (8吋)
§ 材質:PC、PMMA(ESD)
§ 適用於200mm自動化機械存取介 面
業務窗口
02-2268-9141
分機1608、1609
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