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200mm 晶圓傳送盒(Wafer POD)

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:PCPMMA(ESD)

§  適用於200mm自動化機械存取介面

說明

與對應型號的晶舟搭配可提供晶圓片在製程站間傳送與儲存的完美防護。所有尺寸皆符合SEMI規範,適用於200mm自動化機械存取介面。晶圓鎖定擋板為一體成形耐磨材質,可固定晶圓片以減少晶圓旋轉位移而生成particle。即開即關門閂結構設計,避免下蓋閉鎖不完全而導致內部晶舟掉落之風險。

特色

§  低釋氣材質:降低釋出氣體汙染晶圓風險

§  密膠條:有效阻絕外部氣體汙染晶圓

§  耐磨材質之晶圓定位擋板:減少晶圓位移摩擦產生particle

§  晶圓鎖定擋板之自動歸位設計:避免未預期碰撞造成晶圓破片

§  與下蓋一體成形之H-bar固定座:易於清洗維修

§  開即關門閂結構:避免下蓋閉鎖不全

§  RFID功能:易於拆卸與更換

§  雷射雕刻:客製化設計

§  搬運把手:人體工學設計,易於搬運

§  高強度上蓋結構設計且易於清洗維修

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