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200mm 晶圓運輸盒(Wafer Shipping Box)

§  晶圓尺寸:200mm (8)

§  材質:PC

§  容量:25片裝(內含PC晶舟)

說明

25片裝的200mm晶圓運輸盒,適用於200mm空白晶圓的運輸。低釋氣、耐磨與高強度材質,可以減少particle生成並提供晶圓傳載的完美保護。

特色

§  低釋氣材質:降低釋出氣體汙染晶圓風險

§  特殊定位片與防震設計:減少晶圓位移摩擦產生particle

§  密膠條:有效阻絕外部氣體汙染晶圓

§  可堆疊之通用外觀設計

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