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§ 晶圓尺寸：300mm (12吋) § 材質：FRP(ESD) § 容量：25片裝 § 支援充氣功能 |
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說明 |
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提供300mm晶圓在運輸傳載與儲存時的高效能防護，絕佳氣密性與充氣功能可將FOUP內部維持在低濕度的潔淨環境。超低釋氣與超低吸濕材質，更能有效降低晶圓受到釋出氣體汙染的風險。所有尺寸皆符合SEMI規範，亦可因應機台參數設定作客製化修改，確保FOUP與機台之相容性。 |
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特色 |
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§ 低釋氣材質：減少釋出氣體汙染晶圓 § ESD靜電消散材質：避免晶圓受靜電損害 § 耐磨材質：減少particle生成 § 通過防火認證之材質 § 絕佳充氣效能與氣密性 § 即開即關門閂結構：避免門板閉鎖不全 § 支援OHT § 支援RFID功能 |
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可選擇項目 |
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§ 充氣孔位與數量：客製化設計 § 視窗：有視窗/ 無視窗 |
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相關產品 |
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§ 多功能載具清洗機
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