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300mm FOUP- 超低吸濕防火材質

§  晶圓尺寸:300mm (12)

§  材質:FRP(ESD)

§  容量:25片裝

§  支援充氣功能

說明

提供300mm晶圓在運輸傳載與儲存時的高效能防護,絕佳氣密性與充氣功能可將FOUP內部維持在低濕度的潔淨環境。超低釋氣與超低吸濕材質,更能有效降低晶圓受到釋出氣體汙染的風險。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台參數設定作客製化修改,確保FOUP與機台之相容性。

特色

§  低釋氣材質:減少釋出氣體汙染晶圓

§  ESD靜電消散材質:避免晶圓受靜電損害

§  耐磨材質:減少particle生成

§  通過防火認證之材質

§  絕佳充氣效能與氣密性

§  開即關門閂結構:避免門板閉鎖不全

§  支援OHT

§  支援RFID功能

可選擇項目

§  充氣孔位與數量:客製化設計

§  視窗:有視窗/ 無視窗

相關產品

§  多功能載具清洗機

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業務窗口

02-2268-9141

分機1608、1609、3015

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