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450mm 晶圓載具

450mm FOUP

提供450mm晶圓在運輸傳載與儲存時的高效能防護,絕佳密性與充氣功能可將FOUP內部維持在低濕度的潔淨環境。低釋氣與低吸濕材質,可以有效降低晶圓受到釋出氣體汙染的風險。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台參數設定作客製化修改,確保FOUP與機台之相容性。

§  晶圓尺寸:450mm (18)

§  材質:LAP(ESD)

§  容量:25片裝

§  參與SEMI規格制定,為世界第一

    間合格供應商

§  支援充氣功能

450mm MAC

提供450mm晶圓在運輸傳載與儲存時的高效能防護。低釋氣材質,可以有效降低晶圓受到釋出氣體汙染的風險。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台參數設定作客製化修改,確保FOUP與機台之相容性。

§  晶圓尺寸:450mm (18)

§  材質:PC

§  容量:25片裝

§  參與SEMI規格制定,為世界第一

    間合格供應商

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02-2268-9141

分機1608、1609、3015

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