Menu
您目前位置:產品範疇晶圓傳載解決方案450mm 晶圓載具450mm 晶圓載具450mm 前開式晶圓傳送盒 (FOUP)

450mm 前開式晶圓傳送盒 (FOUP)

§  晶圓尺寸:450mm (18)

§  材質:LAP(ESD)

§  容量:25片裝

§  參與SEMI規格制定,為世界第一間合格供應商

§  支援充氣功能

說明

提供450mm晶圓在運輸傳載與儲存時的高效能防護,絕佳氣密性與充氣功能可將FOUP內部維持在低濕度的潔淨環境。低釋氣與低吸濕材質,可以有效降低晶圓受到釋出氣體汙染的風險。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台參數設定作客製化修改,確保FOUP與機台之相容性。

特色

§  ESD靜電消散與低釋氣材質:避免晶圓受靜電損害與氣體汙染

§  耐磨材質與獨特晶圓支架設計:減少particle生成

§  獨特晶圓定位擋板設計:減少晶圓位移摩擦並確保運輸安全

§  絕佳充氣效能與氣密性

§  開即關門閂結構:避免門板閉鎖不全

§  無螺絲與金屬配件,容易清洗與維修

§  支援OHT

§  支援RFID功能

相關產品

§  450mm多功能應用載具

§  多功能載具清洗機

客服中心

業務窗口

02-2268-9141

分機1608、1609、3015

Email住址會使用灌水程式保護機制。你需要啟動Javascript才能觀看它

 
Go to top