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450mm 多功能應用載具 (MAC)

§  晶圓尺寸:450mm (18)

§  材質:PC

§  容量:25片裝

§  參與SEMI規格制定,為世界第一間合格供應商

說明

提供450mm晶圓在運輸傳載與儲存時的高效能防護。低釋氣材質,可以有效降低晶圓受到釋出氣體汙染的風險。所有尺寸皆符合SEMI規範,亦可因應機台參數設定作客製化修改,確保FOUP與機台之相容性。

特色

§  特殊定位片與防震設計:減少晶圓位移摩擦產生particle 

§  低釋氣材質:減少釋出氣體汙染晶圓

§  絕佳氣密性

§  開即關門閂結構:避免門板閉鎖不全

§  支援OHT

§  支援RFID功能

相關產品

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§  多功能載具清洗機

客服中心

業務窗口

02-2268-9141

分機1608、1609、3015

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