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§ 晶圓尺寸：450mm (18吋) § 材質：PC § 容量：25片裝 § 參與SEMI規格制定，為世界第一間合格供應商 |
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說明 |
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提供450mm晶圓在運輸傳載與儲存時的高效能防護。低釋氣材質，可以有效降低晶圓受到釋出氣體汙染的風險。所有尺寸皆符合SEMI規範，亦可因應機台參數設定作客製化修改，確保FOUP與機台之相容性。 |
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特色 |
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§ 特殊定位片與防震設計：減少晶圓位移摩擦產生particle § 低釋氣材質：減少釋出氣體汙染晶圓 § 絕佳氣密性 § 即開即關門閂結構：避免門板閉鎖不全 § 支援OHT § 支援RFID功能 |
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相關產品 |
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§ 450mm前開式晶圓傳送盒 § 多功能載具清洗機
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