家登與迅得正式切入EUV傳載自動化系統領域,最新代表作為EUV Lite Purge Stocker長期儲存方案,運用智慧倉儲的概念,將傳統的儲櫃系統搭配自動化物流,達到長時間最低成本卻最高效率的整體效益,進一步協助客戶在先進製程製造中,降低人為錯誤,提高穩定度。第一座EUV Lite Purge Stocker即將在本月完成出機,待客戶驗證後能快速擴大普及率,為全球各大半導體廠先進製程採用。此外迅得擁有半導體智慧倉儲系統等自動化物料搬運系統(Automated Material Handling System:AMHS)之專業能力,家登將在下半年於廠內建置AMHS全自動清洗線,全力發展家登晶圓傳載解決方案自動化生產。下一步家登也會借重迅得機械專業自動化的工程服務、累積豐富之自動化系統設備製造及開發經驗,加速跨足半導體光罩倉儲自動化搬運系統佈局,將可增加聯盟業務機會,擴大市場規模效益及產業升級。