公司介紹
家登自動化股份有限公司成立於2016年，是由原家登精密設備部門分割轉出,獨立運營之子公司。主要生產半導體前段黃光製程中光罩清洗、光罩交換、光罩檢查、光罩儲存及管理設備，為台灣本地自由品牌半導體設備製造商。目前設備產品銷售地區包含台灣、美國、大陸、新加坡、日本、韓國、馬來西亞…等地區。
家登自動化在產品發展上，除了持續推廣光罩清洗機及其週邊應用，與客戶共同開發先進製程應用機台、維持良好夥伴關係，而在技術上也不斷精進、領先同業。目前在光罩AOI檢測及EUV光罩週邊應用設備都有所斬獲，藉由原來的核心技術拓展不同的產業及市場開發。
此外，家登自動化於2020年12月收購昇和精技股份有限公司，將業務觸角延伸到PVD真空鍍膜和PVD設備技術，致力於半導體和面板的PVD真空技術和相關機台設計、設備改造，可望增加產線資源、業務範疇添加成長動能。
營業項目/ 產品服務
半導體黃光製程設備銷售與維修服務、半導體設備客製化開發、面板產業設備銷售與應用開發
PVD真空鍍膜和PVD設備應用開發
服務據點
302052 新竹縣竹北市復興三路二段106號
74148 台南市新市區紫楝路17號4樓之2
聯絡方式
新竹據點 TEL 886-3—5506279
台南據點 TEL 886-6-589-2558
業務銷售 0933-975-927 (劉經理); 0926-337-106 (王經理)
產品介紹
光罩儲存Stocker (RSP 150/ EUV POD/ RSP 200/ 光罩盒)
提供RSP150、EUV POD、RSP 200等載具之自動化存取與儲存空間，並支援連續充氣功能(XCDA、N2充氣)，並將載具的位置、內容物、充氣資訊回傳至中央管理系統。可滿足可用佔地空間，設計不同櫃位數目之客製需求。
- 支援RSP150/RSP200/EUV POD充氣儲存用
- MFC控制充氣流量
- 盤面充氣管路加裝Gas Filter,確保進氣潔淨度
- 即時監控管路氣體壓力狀況及每儲位充氣狀態
- 可搭配AMHS自動化系統Load/unload
- SECS功能
光罩儲存櫃體 (RSP 150/ EUV POD/ RSP 200/ 光罩盒)
提供RSP150、EUV POD、RSP 200超潔淨氣體(XCDA)連續充氣，當人工將載具放置於櫃位上則會開始自動充氣，並將載具的位置、內容物、充氣資訊回傳至MES系統。
- 支援RSP150/RSP200/EUV POD充氣儲存用
- MFC控制充氣流量
- 盤面充氣管路加裝Gas Filter,確保進氣潔淨度
- 即時監控管路氣體壓力狀況及每儲位充氣狀態
- 門禁管理系統
- 可讀取RFID Tag資料，並透過SECS上報POD放入/取出/異常上報，可供監控POD及光罩位置
光罩清洗機
應用於半導體黃光製程自動化光罩清洗設備，可清洗光罩的Glass Side、Pellicle Side與barcode (edge)兩側區域，可有效清潔光罩上的particle與Glass side HAZE汙染，快速讓光罩恢復生產。
- 機台RSP 150 loadport支援OHT下貨
- 光罩Glass side水洗清潔
- 光罩Pellicle Side針式風刀清潔
- 光罩Barcode (edge)兩側區域清潔
- 機台環境符合Class 1
- 自動化功能:E84/ SECS & GEM
光罩交換機
應用於半導體黃光製程自動化光罩交換功能，可將光罩從RSP 150與光罩盒互相交換，確保光罩交換過程中的潔淨度與ESD保護。
- 6寸光罩盒與RSP 150交換功能
- 光罩Barcode讀取與作帳功能
- 可選配光罩目檢功能
- 機台環境符合Class 1
- 自動化功能:E84/ SECS & GEM
自動化功能:E84/ SECS & GEM
應用於光罩生產製程中光罩轉向90/ 180/ 270度，可將光罩從RSP 200自動化取出，確保光罩轉向過程中的潔淨度與ESD保護。
- 支援RSP 200載具開盒
- 可自動判讀光罩進來方向，選擇轉向角度
- 光罩Barcode讀取紀錄
- 機台環境符合Class 1
光罩檢查機
應用於半導體黃光製程自動化光罩檢查功能，檢查區域為6寸光罩Glass Side與Pellicle Side。
- 支援RSP 150載具開盒
- 光罩Glass Side/ Pellicle Side particle/ defect檢查
- 光罩Barcode讀取紀錄
- 機台環境符合Class 1
- 自動化功能:E84/ SECS & GEM
EUV光罩盒檢查機
應用於半導體EUV製程EUV POD (EIP)表面defect檢查功能，利用bright field影像拍攝EIP Cover/ Baseplate，自動檢驗表面defect/ particle，有助於EIP品質管理。
- 支援EUV POD載具開盒
- 檢查EUV POD (EIP) Cover與Baseplate
- 整合AI影像辨識功能，可針對defect檢查結果進行分類
- Defect檢查前值與後值比對
- 機台環境符合Class 1
- 自動化功能:E84/ SECS & GEM
EUV相關設備
- EUV EIP Barcode讀取與光罩Pellicle偵測
可自動讀取EUV EIP barcode讀取紀錄；光罩於EIP儲存盒中，機台可自動偵測pellicle有無，降低光罩取出檢查風險。
- EUV 光罩側邊檢查機
支援RSP 200載具自動開盒，檢查EUV光罩側邊區域。利用光學影像拍照技術，可檢驗光罩側邊是否有defect、髒污…等。
- EUV 光罩清潔機
支援RSP 200載具自動開盒，利用vacuum clean可有效清潔光罩front side/ back side區域。
飽壓測試機/ 其他
應用於半導體CMP製程，可針對不同Membrane特性可設定不同Recipe，進行吹氣拉皮和飽壓測漏。
- 吹氣/飽壓之8 zone， 可個別或同時進行拉皮和飽壓測漏。
- 8 zone使用高精密控制閥體，可以精準控制吹氣壓力。
- 設備結合吹氣拉皮和飽壓測漏，讓使用者可以一機兩用。
