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::: 首頁 关于家登 子公司 家硕科技股份有限公司

家硕科技股份有限公司

公司介紹

基于市场辨识性及营运需要,本公司已于112/02/10经新北市政府核准变更公司名称,原名「家登自动化股份有限公司」变更为「家硕科技股份有限公司」。

家硕科技股份有限公司成立于2016年，是由原家登精密设备部门分割转出,独立运营之子公司。主要生产半导体前段黄光制程中光罩清洗、光罩交换、光罩检查、光罩储存及管理设备，为台湾本地自由品牌半导体设备制造商。目前设备产品销售地区包含台湾、美国、大陆、新加坡、日本、韩国、马来西亚…等地区。

家硕科技在产品发展上，除了持续推广光罩清洗机及其周边应用，与客户共同开发先进制程应用机台、维持良好夥伴关系，而在技术上也不断精进、领先同业。目前在光罩AOI检测及EUV光罩周边应用设备都有所斩获，借由原来的核心技术拓展不同的产业及市场开发。

此外，家硕科技于2020年12月收购昇和精技股份有限公司，将业务触角延伸到PVD真空镀膜和PVD设备技术，致力于半导体和面板的PVD真空技术和相关机台设计、设备改造，可望增加产线资源、业务范畴添加成长动能。

 

营业项目/ 产品服务

半导体黄光制程设备销售与维修服务、半导体设备客制化开发、面板产业设备销售与应用开发
PVD真空镀膜和PVD设备应用开发

 

服务据点

302052 新竹县竹北市复兴三路二段106号
74148 台南市新市区紫楝路17号4楼之2

 

联络方式

新竹据点 TEL 886-3—5506279
台南据点 TEL 886-6-589-2558
业务销售 886-933-975-927 (刘经理); 886-926-337-106 (王经理)

 

产品介绍

光罩储存Stocker (RSP 150/ EUV POD/ RSP 200/ 光罩盒)

提供RSP150、EUV POD、RSP 200等载具之自动化存取与储存空间，并支援连续充气功能(XCDA、N2充气)，并将载具的位置、内容物、充气资讯回传至中央管理系统。可满足可用佔地空间，设计不同柜位数目之客制需求。
  • 支援RSP150/RSP200/EUV POD充气储存用
  • MFC控制充气流量
  • 盘面充气管路加装Gas Filter,确保进气洁净度
  • 即时监控管路气体压力状况及每储位充气状态
  • 可搭配AMHS自动化系统Load/unload
  • SECS功能  

光罩储存柜体 (RSP 150/ EUV POD/ RSP 200/ 光罩盒)

提供RSP150、EUV POD、RSP 200超洁净气体(XCDA)连续充气，当人工将载具放置于柜位上则会开始自动充气，并将载具的位置、内容物、充气资讯回传至MES系统。
  • 支援RSP150/RSP200/EUV POD充气储存用
  • MFC控制充气流量
  • 盘面充气管路加装Gas Filter,确保进气洁净度
  • 即时监控管路气体压力状况及每储位充气状态
  • 门禁管理系统
  • 可读取RFID Tag资料，并透过SECS上报POD放入/取出/异常上报，可供监控POD及光罩位置  

光罩清洗机

应用于半导体黄光制程自动化光罩清洗设备，可清洗光罩的Glass Side、Pellicle Side与barcode (edge)两侧区域，可有效清洁光罩上的particle与Glass side HAZE污染，快速让光罩恢复生产。
  • 机台RSP 150 loadport支援OHT下货
  • 光罩Glass side水洗清洁
  • 光罩Pellicle Side针式风刀清洁
  • 光罩Barcode (edge)两侧区域清洁
  • 机台环境符合Class 1
  • 自动化功能:E84/ SECS & GEM  

光罩交换机

应用于半导体黄光制程自动化光罩交换功能，可将光罩从RSP 150与光罩盒互相交换，确保光罩交换过程中的洁净度与ESD保护。
  • 6寸光罩盒与RSP 150交换功能
  • 光罩Barcode读取与作帐功能
  • 可选配光罩目检功能
  • 机台环境符合Class 1
  • 自动化功能:E84/ SECS & GEM  

自动化功能:E84/ SECS & GEM

应用于光罩生产制程中光罩转向90/ 180/ 270度，可将光罩从RSP 200自动化取出，确保光罩转向过程中的洁净度与ESD保护。
  • 支援RSP 200载具开盒
  • 可自动判读光罩进来方向，选择转向角度
  • 光罩Barcode读取纪录
  • 机台环境符合Class 1

光罩检查机

应用于半导体黄光制程自动化光罩检查功能，检查区域为6寸光罩Glass Side与Pellicle Side。
  • 支援RSP 150载具开盒
  • 光罩Glass Side/ Pellicle Side particle/ defect检查
  • 光罩Barcode读取纪录
  • 机台环境符合Class 1
  • 自动化功能:E84/ SECS & GEM  

EUV光罩盒检查机

应用于半导体EUV制程EUV POD (EIP)表面defect检查功能，利用bright field影像拍摄EIP Cover/ Baseplate，自动检验表面defect/ particle，有助于EIP品质管理。
  • 支援EUV POD载具开盒
  • 检查EUV POD (EIP) Cover与Baseplate
  • 整合AI影像辨识功能，可针对defect检查结果进行分类
  • Defect检查前值与后值比对
  • 机台环境符合Class 1
  • 自动化功能:E84/ SECS & GEM  

EUV相关设备

  • EUV EIP Barcode读取与光罩Pellicle侦测
    可自动读取EUV EIP barcode读取纪录；光罩于EIP储存盒中，机台可自动侦测pellicle有无，降低光罩取出检查风险。
  • EUV 光罩侧边检查机
    支援RSP 200载具自动开盒，检查EUV光罩侧边区域。利用光学影像拍照技术，可检验光罩侧边是否有defect、脏污…等。
  • EUV 光罩清洁机
    支援RSP 200载具自动开盒，利用vacuum clean可有效清洁光罩front side/ back side区域。

饱压测试机/ 其他

应用于半导体CMP制程，可针对不同Membrane特性可设定不同Recipe，进行吹气拉皮和饱压测漏。
  • 吹气/饱压之8 zone， 可个别或同时进行拉皮和饱压测漏。
  • 8 zone使用高精密控制阀体，可以精准控制吹气压力。
  • 设备结合吹气拉皮和饱压测漏，让使用者可以一机两用。