晶圓傳載解決方案 - Gudeng

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晶圓傳載解決方案

LIGHT CASSETTE 12吋

提供300mm wafer frame在運輸傳載與儲存時的高效能防護，低釋氣材質，可以有效降低晶圓受到釋出氣體汙染的風險。

尺寸
300mm
材質
PC(ESD)
片數
13片

特色

ESD低釋氣材質：減少釋出氣體汙染晶圓
靜電消散材質：避免晶圓受靜電損害
支援OHT
支援RFID功能
支援充氣功能
6.可選擇項目：
a.充氣孔位與數量：客製化設計