RSP 150 - Gudeng

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::: 產品範疇光罩傳載解決方案 RSP 150

RSP 150

六層光罩傳送盒 (MRSP)

提供至多六片6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。

尺寸
6 x 6 x 0.25 (吋)
材質
PC、PEEK
片數
6
用途
六片光罩傳送及高效能儲存
適用載具
支援SMIF標準機械介面

特色

1.支援RFID功能，可拆卸RFID座：方便讀取光罩資訊
2.低釋氣材質並支援充氣功能：減少Haze汙染
3.與光罩接觸點皆為耐磨材質：有效減少Particle生成