; 跳到主要內容區塊
::: 首頁 產品範疇 光罩傳載解決方案 RSP 150

RSP 150

RSP 150

六層光罩傳送盒 (MRSP)

提供至多六片6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
  • 尺寸
    6 x  6 x 0.25 (吋)
  • 材質
    PC、PEEK
  • 片數
    6
  • 用途
    六片光罩傳送及高效能儲存
  • 適用載具
    支援SMIF標準機械介面
特色
  • 1.支援RFID功能,可拆卸RFID座:方便讀取光罩資訊
    2.低釋氣材質並支援充氣功能:減少Haze汙染
    3.與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成