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::: 首頁 產品範疇 光罩傳載解決方案 RSP 200

RSP 200

RSP 200

RSP200光罩傳送盒(透明視窗)

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。一體式上蓋設計易於清洗,並採用耐磨高潔淨材質減少Particle生成的風險。大面積透明視窗易於檢視內部光罩資訊。
  • 尺寸
    6 x  6 x 0.25 (吋)
  • 材質
    PEEK(ESD)
  • 適用載具
    支援200mmSMIF標準機械介面
特色
  • 1.支援RFID功能
    2.低釋氣材質並支援充氣功能:減少Haze汙染
    3.ESD靜電消散材質:避免光罩受靜電損害
    4.與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成
    5.橘色透明視窗:可有效阻絕紫外光
    6.特殊底板開關機構:避免開鎖不完全導致光罩摔落
    7.支援充氣功能,採用易更換式Filter設計
    8.可選擇項目-
    a.RFID數目:1個/2個(雙邊各一個)
    b.上蓋T扣數量:無/2個/4個
    c.視窗:平面/凸起