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光罩夾

光罩夾是專為人工夾取光罩使用,可將人體靜電導地,避免光罩受ESD損害。不同的載具適用不同形式的光罩夾,家登目前為6吋光罩盒、光罩儲存盒、RSP150提供各式光罩夾。此外亦為其他尺寸光罩提供客製化光罩夾。
  • 尺寸
    4、5、6、7、9 吋
  • 材質
    PEEK(ESD)、UPE(ESD)、SUS304
  • 適用載具
    水平式、垂直式(適用於不同之載具)
特色
  • 1.使用靜電消散材質
    2.耐磨止滑之光罩夾頭設計
    3.可選擇項目-
    a.可選配LOCK:避免人員操作時把手未握實,導致光罩鬆脫滑落
    b.可選配光罩擋板:擋板可支撐光罩避免滑落(僅適用於水平式光罩夾)