光罩夾是專為人工夾取光罩使用，可將人體靜電導地，避免光罩受ESD損害。不同的載具適用不同形式的光罩夾，家登目前為6吋光罩盒、光罩儲存盒、RSP150提供各式光罩夾。此外亦為其他尺寸光罩提供客製化光罩夾。