与对应型号的晶舟搭配可提供晶圆片在制程站间传送与储存的完美防护。所有尺寸皆符合SEMI规范，适用于200mm自动化机械存取介面。晶圆锁定挡板为一体成形耐磨材质，可固定晶圆片以减少晶圆旋转位移而生成particle。