光罩傳載解決方案

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光罩傳載解決方案

EUV 612 全球領先發表

提供6 x 12 x 0.25 吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，內層EIP可於真空環境下操作，支援充氣功能可對光罩傳送盒內部進行微環境的溫溼度控制。

尺寸
6 x 12 x 0.25 (吋)
材質
PEEK(ESD)、金屬
用途
單片光罩運輸及儲存

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