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::: 首頁 產品範疇 光罩傳載解決方案 RSP 150

RSP 150

RSP 150

RSP150 (OHT & 兩側夾板)PEEK材質

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存時的高效能防護,支援OHT自動化傳載,並具備充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。
  • 尺寸
    6 x  6 x 0.25 (吋)
  • 材質
    PEEK(ESD)
  • 片數
    1
  • 用途
    單片光罩傳送及高效能儲存
  • 適用載具
    ASML曝光機
特色
  • ESD靜電消散材質:避免光罩受靜電損害
  • 外殼採低釋氣、低吸濕材質:降低Haze汙染風險
  • 與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成
  • 內部以特殊材質包覆光罩:有效阻絕電場
  • 尺寸符合SEMI規範
  • 支援OHT功能
  • 支援RFID功能
  • 上蓋前後兩側可加裝銘板