RSP 150 - Gudeng

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::: 產品範疇光罩傳載解決方案 RSP 150

RSP 150

RSP150光罩傳送盒(把手&紅色金屬夾板)

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。

尺寸
6 x 6 x 0.25 (吋)
材質
ABS(ESD)、PC(ESD)
用途
單片光罩傳送及高效能儲存
適用載具
ASML/Nikon曝光機

特色

ESD靜電消散材質：避免光罩受靜電損害
外殼採低釋氣：降低Haze汙染風險
與光罩接觸點皆為耐磨材質：有效減少Particle生成
內部以特殊材質包覆光罩：有效阻絕電場
尺寸符合SEMI規範
支援OHT功能
支援RFID功能