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::: 首頁 產品範疇 光罩傳載解決方案 RSP 150

RSP 150

RSP 150

RSP150光罩傳送盒(把手&紅色金屬夾板)

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護。
  • 尺寸
    6 x  6 x 0.25 (吋)
  • 材質
    ABS(ESD)、PC(ESD)
  • 用途
    單片光罩傳送及高效能儲存
  • 適用載具
    ASML/Nikon曝光機
特色
  • ESD靜電消散材質:避免光罩受靜電損害
  • 外殼採低釋氣:降低Haze汙染風險
  • 與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成
  • 內部以特殊材質包覆光罩:有效阻絕電場
  • 尺寸符合SEMI規範
  • 支援OHT功能
  • 支援RFID功能