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::: 首頁 產品範疇 光罩傳載解決方案 RSP 200

RSP 200

RSP 200

RSP200光罩傳送盒(OHT頭)

提供6吋光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護,支援OHT自動化傳載。一體式上蓋設計易於清洗,並採用耐磨高潔淨材質減少Particle生成的風險。
  • 尺寸
    6 x  6 x 0.25 (吋)
  • 材質
    PEEK(ESD)
特色
  • 支援RFID功能
  • 低釋氣材質並支援充氣功能:減少Haze汙染
  • ESD靜電消散材質:避免光罩受靜電損害
  • 低釋氣材質:降低Haze汙染風險
  • 與光罩接觸點皆為耐磨材質:有效減少Particle生成
  • 特殊底板開關機構:避免開鎖不完全導致光罩摔落
  • 絕佳氣密性
  • 支援充氣功能,採用易更換式Filter設計
  • 支援OHT功能
  • 可選擇項目-
  • RFID數目:1個/2個(雙邊各一個)