EUV POD - Gudeng

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::: 產品範疇光罩傳載解決方案 EUV POD

EUV POD

EUV POD(通過ASML認證)

以子母盒雙層設計，提供6吋EUV光罩在製程站間傳送與儲存的高效能防護，內層EIP可於真空環境下操作。支援充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制。

尺寸
6 x 6 x 0.25 (吋)
材質
PEEK(ESD)、金屬

特色

符合SEMI規範
支援OHT功能
支援RFID功能
子母盒雙層：EOP(外層)與EIP(內層)
EOP使用靜電消散與低釋氣材質
EIP可支援在真空環境下操作
與光罩接觸點皆為耐磨材質：有效減少Particle生成
絕佳氣密性
可選擇項目-EIP形式：無薄膜光罩版本/有薄膜光罩版本
EUV製程(通過ASML認證)